ito导电玻璃真空镀膜流水线
该系统专门针对玻璃镀ito膜设计，分为9个真空室：进料室、辉光清洗室、过渡室、sio2溅射室、过渡室、ito溅射室、传输室、缓冲室、出料室。系统整体设计严格，采用分子泵高真空机组，可配备高溅射效率的平面靶或旋转靶，采用直流溅射或中频溅射，可以高效率的溅射al膜、ito膜、sio2膜、银膜、铬膜、tio膜等。
一、工艺膜系：
单面结构：glass/ito/sio2/moalmo/ito/ sio2
双面结构：sio2/moalmo/ ito/glass/ito/moalmo/ sio2
二、设备主要技术参数：
真空连续式镀膜流水线配置表
序号
项目
规格及说明
1
设备主体
1.1
外形尺寸
15.6m*2.4*1.6m（长*宽*高）
1.2
整体重量
17吨
2
传输部分
2.1
工件盘尺寸
1210*600mm
2.2
驱动电机
lenze mdsksrs036-13
3
真空系统
3.1
预抽真空组
pac250+wkp500a
3.2
高真空分子泵
tmh1001和tmh521
3.3
冷凝泵
polycold pfc-1102hc
4
真空压力检测
4.1
皮拉尼规
tpr265
4.2
全量程检测真空计
pkr251
4.3
过程压力测量
mks baratron627b
4.4
压力安全开关
pn3009
5
气流控制系统
5.1
气流量控制器
mks 质量流量控制器
6
溅射系统及电源
6.1
辉光清洗电源
霍庭格 tie10/100p
6.2
溅射电源
霍庭格 tigdcs30
6.3
清洗电极尺寸
580*160
6.4
阴极溅射靶尺寸
900*240
7
自动化控制系统
7.1
上位机
semitic panel pc670
7.2
可编程控制器
西门子 profibus 网络 s-318cpu
8
外围配置及要求
8.1
电源输入要求
380v 240kw
8.2
冷水机
k-2-38/5-2
8.3
压缩空气
压力6-7bar 2-3立方/小时
三、ito膜层性能：
透过率：≥93%
方电阻：100±10
表面硬度：≥3h
膜层厚度：1500±200a

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深圳市昊光机电科技应用有限公司
李小姐
13316854872
：深圳市龙岗区坪地镇高桥产业区麻沙旭达工业区1栋