空方案解决家，北京辉腾隆晟机电设备有限公司（莱宝授权代理商），以下为莱宝turbovac mag digital——磁悬浮复合分子泵系列介绍：
mag digital – 磁悬浮复合分子泵系列
分离式变频器
turbovac mag w 830/1300 c w 1500 ct
w 2000 c/ct w 2200 c w 2800/3200 (c/ct)
典型应用
- 半导体工业，诸如蚀刻、cvd、pvd
和离子注入之类的所有主要半导体
工艺
- 进样室，转移室
- 粒子加速器
- 科研
- 镀膜系统
技术特点
- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统
- 轴承系统的数字监控
- 噪声和振动低
- 任意方向安装
- 的转子设计，实现高抽速和高
前耐压
- 智能电源控制系统
- ct版集成温度管理系统（tms）
- c版耐
客户得益
- 免维护
- 所有工艺气体都有高气载量
- 限低，抽速高
- 前耐压高
- 同类中重量轻，尺寸小
- 耐粉尘
- 温控达 90 °c (194 °f)，避免沉积物
（ct版）
- 高耐性-ct版
北京辉腾隆晟机电设备有限公司（莱宝授权代理商），以下为您介绍莱宝sogevac 新产品特点介绍：
静音从设计开始
为了改善选片式空泵的声学性能，莱宝的设计师和工程师们反复推敲，这才有了sogevac neo d 的噪音指标——比相关产品平均低3db(a)!
洁净需技术升
sogevac neo d油箱内集成了高效的油气分离系统，抽空时不冒油烟不喷油，可降低油损耗近百倍！无需格外排气过滤器，尺寸紧凑，安装空间小。
省心——长三年免维护
采用莱宝的切槽轴封技术，使用长效合成油，sogevac neo d空泵对于干净应用，可实现长三年免维护！
“装好它，忘记它”，如此省心
sogevac neo d
北京辉腾隆晟机电设备有限公司（莱宝授权代理），以下为您介绍莱宝tsp钛升华泵介绍：
tsp钛升华泵
钛升华泵和neg泵可以立使用或者与离子泵组合获得超高/高空环境。与离子泵组合可以使系统在更短的时间内达到超高空。
空方案解决家，北京辉腾隆晟机电设备有限公司（莱宝授权代理商），以下为莱宝机械轴承分子泵turbovac classicline 151(c)361(c)600c1000c 1100c 详细介绍：
机械轴承分子泵
turbovac classicline
151 (c) 361 (c) 600 c 1000 c 1100 c
用于空气或惰性气体的抽除，不适用
于性或反应性气体的抽除。
型号名称中有字母“c”的turbovac泵
配有吹扫气装置。
吹扫气的作用是保护turbovac的轴
承区域和电机。
机械轴承分子泵
turbovac classicline
151 (c) 361 (c) 600 c 1000 c 1100 c
技术特点
- 占地面积小
- 任意方向安装
- 分子泵由于无油，可以提供洁净的高
　空和超高空条件
- 通过turbo.drive td 20classic测量
　轴承温度
客户得益
- 节省空间
- 易于集成到复杂的空系统
- 运行成本低
- 耐粉尘
典型应用
- 科研
- 粒子加速器
- 质谱仪
- 光学镀膜
- 大面积镀膜
- 数据存储
- uhv系统
- 进片室和转移室
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